用高性能 Vision System检查速度快,20秒以内检查完毕(500x500mm Film) 根据Pa
TTErn幅度,决定分辨率 (50um,70um,100um) ItemSpecificationFilm尺寸( ex. 500x500 )Cell 检查单位大尺寸Cell 检查(4”, 7”,10” 等)Pa
TTErn 宽度> 70㎛宽度为准±14㎛线形异物宽度> 21㎛ X 21㎛线形异物长度> 21…
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